本标准描述了硅基MEMS加工过程中所涉及的纳米厚度膜轴向抗拉强度原位试验的要求和试验方法。
本标准适用于采用微电子工艺制造的纳米厚度膜抗拉强度测试。
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法标准号为GB/T 42897-2023，发布日期：2023-08-06、实施日期：2023-12-01，所属行业分类电子学。
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GB/T 42897-2023
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*本标准 GB/T 42897-2023 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。