本标准规定了磁控溅射用钌靶的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。
本标准适用于微电子领域镀膜用磁控溅射钉靶（以下简称钌靶）。
磁控溅射用钌靶标准号为GB/T 34649-2017，发布日期：2017-09-29、实施日期：2018-04-01，所属行业分类冶金。
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GB/T 34649-2017
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*本标准 GB/T 34649-2017 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。