本标准规定了锗烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全。
本标准适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。它用于化学试剂、制取高纯度锗、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入等领域。
分子式:GeH4。
相对分子质量:76.662(按2011年国际相对原子质量计算)。
电子工业用气体 锗烷标准号为GB/T 31987-2015,发布日期:2015-09-11、实施日期:2016-05-01,所属行业分类化工技术。
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