本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。此标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。
电子工业用气体 六氟化硫标准号为GB/T 18867-2014，发布日期：2014-12-22、实施日期：2015-07-01，所属行业分类化工技术。
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GB/T 18867-2014
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*本标准 GB/T 18867-2014 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。