本标准规定了硅外延用三氯氢硅（SiHC13）的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书以及订货单（或合同）内容。此标准适用于以粗三氯氢硅为原料经过提纯而制得的硅外延用三氯氢硅（以下简称产品）。
硅外延用三氯氢硅标准号为GB/T 30652-2014，发布日期：2014-12-31、实施日期：2015-09-01，所属行业分类电气工程。
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GB/T 30652-2014
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*本标准 GB/T 30652-2014 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。