本标准规定了直径300mm、p型、(100)晶向、电阻率0.5Ω·cm～20Ω·cmm硅单晶的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。此标准适用于由直拉法制备的硅单晶,主要用于制作满足集成电路IC用线宽0.13μm及以下技术需求的300 mm硅单晶抛光片。
300mm 硅单晶标准号为GB/T 29504-2013，发布日期：2013-05-09、实施日期：2014-02-01，所属行业分类电气工程。
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