本标准规定了砷化氢的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。此标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中，砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延。分子式：AsH3。相对分子质量：77．945 42(按2007年国际相对原子质量计算)。
电子工业用气体 砷化氢标准号为GB/T 26250-2010，发布日期：2011-01-14、实施日期：2011-05-01，所属行业分类化工技术。
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