本标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存等内容。此标准适用于萤石硫酸法、六硅酸盐热分解法、单质硅直接化法制备的四氟化硅它主要用作电子工业中等离子蚀刻、发光二极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料，也是生产多晶硅的重要原料。分子式：SiF4。相对分子质量：104.0786128（按2009年国际原子相对质量）。
电子工业用气体 四氟化硅标准号为GB/T 31058-2014，发布日期：2014-12-22、实施日期：2015-07-01，所属行业分类化工技术。
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