本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。此标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。分子式：BCl3相对分子质量：117．1691(按2007年国际相对原子质量计算)。
电子工业用气体 三氯化硼标准号为GB/T 17874-2010，发布日期：2011-01-14、实施日期：2011-05-01，所属行业分类化工技术。
本文网址：https://www.171zz.com/document/282893.html