本标准描述了利用X射线衍射仪测试半导体材料双晶摇摆曲线半高宽，进而评价半导体单晶晶体质量的方法。
本标准适用于碳化硅、金刚石、氧化镓等单晶材料晶体质量的测试，硅、砷化镓、磷化铟等半导体材料晶体质量的测试也可参照此标准执行。
半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法标准号为GB/T 42676-2023，发布日期：2023-08-06、实施日期：2024-03-01，所属行业分类冶金。
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GB/T 42676-2023
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*本标准 GB/T 42676-2023 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。