本标准描述了激光散射法测试碳化硅外延片表面缺陷的方法。
本标准适用于4H-SiC外延片的表面缺陷测试。
碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法标准号为GB/T 42902-2023，发布日期：2023-08-06、实施日期：2024-03-01，所属行业分类冶金。
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GB/T 42902-2023
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*本标准 GB/T 42902-2023 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。