本标准描述了采用光反射法以20°、60°或85°几何条件测试硅片表面光泽度的方法。
本标准适用于硅腐蚀片、抛光片、外延片表面光泽度的测试，不适用于表面有图形的硅片的测试。
硅片表面光泽度的测试方法标准号为GB/T 42789-2023，发布日期：2023-08-06、实施日期：2024-03-01，所属行业分类冶金。
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GB/T 42789-2023
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*本标准 GB/T 42789-2023 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。