本标准描述了X射线衍射定向和光图定向测定半导体单晶晶向的方法。
本标准适用于半导体单晶晶向的测定。X射线衍射定向法适用于测定硅、锗、砷化镓、碳化硅、氧化镓、氮化傢、锑化铟和磷化钢等大致平行于低指数原子面的半导体单晶材料的表面取向：光图定向法适用于测定硅、锗等大致平行于低指数原子面的半导体单晶材料的表面取向。
半导体单晶晶向测定方法标准号为GB/T 1555-2023，发布日期：2023-08-06、实施日期：2024-03-01，所属行业分类冶金。
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