磁控溅射设备通用技术条件标准号为SJ/T 10478-1994，发布日期：1994-04-11、实施日期：1994-10-01，所属行业分类。
本文网址：https://www.171zz.com/document/83713.html
SJ/T 10478-1994
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*本标准 SJ/T 10478-1994 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。
磁控溅射设备通用技术条件标准号为SJ/T 10478-1994，发布日期：1994-04-11、实施日期：1994-10-01，所属行业分类。
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