本准则的范围是制定有关光掩模缺陷分类用的标准术语，并规定缺陷大小的表达方法。确定光掩模缺陷时应遵循这个准则。
光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则标准号为GB/T 16880-1997，发布日期：1997-06-20、实施日期：1998-03-01，所属行业分类电子学。
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GB/T 16880-1997
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*本标准 GB/T 16880-1997 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。