本标准提供了在商用碳化硅（SiC）同质外延片产品上缺陷光学检测的定义和方法。主要是通过给出这些缺陷的光学图像示例，为SiC同质外延片上缺陷的光学检测提供检测和分类的依据。
本标准主要论述缺陷的无损表征方法，因此有损表征例如湿法腐蚀等不包含在此标准范围内。
半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第2部分：缺陷的光学检测方法标准号为GB/T 43493.2-2023，发布日期：2023-12-28、实施日期：2024-07-01，所属行业分类电子学。
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