本标准规定了硅外延用三氯氢硅（SHCl3）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。
本标准适用于以三氯氢硅为原料精制提纯而制得的硅外延用三氯氢硅（以下简称产品）。
硅外延用三氯氢硅标准号为GB/T 30652-2023，发布日期：2023-08-06、实施日期：2024-03-01，所属行业分类电气工程。
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GB/T 30652-2023
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*本标准 GB/T 30652-2023 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。