本标准描述了采用红外反射法测试碳化硅外延层厚度的方法。
本标准适用于n型掺杂浓度大于1×1018cm-3的碳化硅衬底上同质掺杂浓度小于1×1016cm-3的同质碳化硅外延层厚度的测试，测试范围为3μm~200μm。
碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法标准号为GB/T 42905-2023，发布日期：2023-08-06、实施日期：2024-03-01，所属行业分类冶金。
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GB/T 42905-2023
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*本标准 GB/T 42905-2023 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。