本标准规定了硅单晶退火片（以下简称退火片）的分类、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存、随行文件及订货单内容。
本标准适用于通过退火工艺在硅单晶抛光片表面形成一定宽度洁净区的硅片，产品用于技术代180nm ~ 22nm的集成电路。
硅单晶退火片标准号为GB/T 26069-2022，发布日期：2022-03-09、实施日期：2022-10-01，所属行业分类电气工程。
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GB/T 26069-2022
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*本标准 GB/T 26069-2022 仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。